晶體生長(zhǎng)爐熱場(chǎng)
用于生長(zhǎng)半導(dǎo)體晶體的所有工藝都在高溫、侵蝕性環(huán)境下運(yùn)行,晶體生長(zhǎng)爐的熱區(qū)通常配備耐熱和耐腐蝕的高純度石墨部件,如加熱器、坩堝、石墨保溫筒、導(dǎo)流筒等。

圖 CZ直拉單晶爐熱場(chǎng)示意圖

圖 CZ晶體生長(zhǎng)爐高純石墨加熱器
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